Metal-oksit ince film yapıların üretilmesi ve elektriksel karakteristiklerinin incelenmesi
Yükleniyor...
Tarih
2011
Yazarlar
Dergi Başlığı
Dergi ISSN
Cilt Başlığı
Yayıncı
Ege Üniversitesi
Erişim Hakkı
info:eu-repo/semantics/openAccess
Özet
Bu çalışmada, kalay metali kuvars altlık üzerine 300 Å kalınlığında termal buharlaştırma yöntemiyle kaplandıktan sonra oksijen akışı altında 400, 500, 600, 800 ve 1000 oC’de 2 şer saatlik tavlama işlemine tabi tutularak kalaydioksit ince filmi üretilmiştir. Üretilen bu fimler üzerinde tavlama işleminin yüzeysel, yapısal, elektriksel ve optik sogurma üzerindeki etkisi incelenmiştir. Filmler yüzeysel SEM, yapısal X-Ray, elektriksel ve optik soğurma olarak karakterize edilmişlerdir. SEM görüntülerine bakıldığında, üretilen filmlerin nano patikülerden meydana geldiğini, tavlama sıcaklığı artarken tanecik boyutununda arttığı gözlenmiştir. X-Ray ölçüm sonuçlarından tavlama işlemi sonucunda iki tane yoğunluğu artan kuvvetli pik ortaya çıkmıştır. Karanlık elektrik direç değerleri tavlama işlemine bağlı olarak 10-4 Ω-cm civarında olduğu ölçülmüştür. UV-V optiksel soğurma spekrtumu Eg enerji bant aralığının tavlama sıcaklığıyla artığını ortaya koymuştur. Filmin algılama özelliğini geliştirmek için, fotolitoğrafi tekniği kullanılarak kuvars altlık üzerine inter dijital altın elektrotlar yerleştirildi. Kaplanan filmler O2 gazı altında 500, 600 ve 800 oC’de 2 saat tavlanarak farklı konsantrasyonlardaki su buharı, toluene, etanol, benzen, metanol, and aseton gazlarına duyarlılıklarının karakteristikleri incelenmiştir. Sensor su buharına iyi duyarlı iken diğer organik gazlara daha az duyarlı olduğunu göstermiştir.
Açıklama
Anahtar Kelimeler
Kalay-dioksit, ince film, termal buharlaştırma, gaz algılama., Tin dioxide, thin films, thermal evaporation, gas sensing., Kimya A.B.D.
