Baltacı, AysunÖzboduç, Gökhan Kadir2019-04-302019-04-302014https://hdl.handle.net/11454/7934Günümüzde mikroelektromekanik sistemler (MEMS) her geçen gün daha yaygın olarak kullanılmakta, bu yüzden oldukça ilgi çeken ve gelişmeye açık bir alan olmaktadır. Özellikle sağlık alanında robotların kullanımı ile beraber, MEMS 'lere olan gereksinim artmıştır. Bu sayede sağlık alanında robotik uygulamalarda da boyutların küçülmesiyle bu sistemlerin kullanım alanlarının genişlediği görülmektedir. Ancak mikro-robotların boyutları küçüldükçe hareketi ve uygulamalar için gereken gücü sağlayacak aktüatörlerin tasarımı da zorlaşmıştır. Bu nedenle manyetik alan uygulamaları ve mikrorobotlar için mikromıknatısların önemi açığa çıkmıştır. Mikro-mıknatıslar bazı alaşımlı manyetik ince filmlerden oluşmaktadır. Mikro-mıknatısların üretimi esnasında birçok ince film üretim yöntemi kullanılır. Bunlardan en verimlisi ekonomik ve uygulaması kolay bir yöntem olan elektrokimyasal depolama tekniğidir. Bu çalışmada mikro-mıknatıs olarak kullanılması amaçlanan CoNiMnP alaşımlı manyetik ince filmlerin tasarımı ve elektrokimyasal depolama ile üretimi yapılmıştır. Oluşturulan bu kalıcı manyetik filmlerin yapısal, kimyasal bileşimi ve manyetik özellikleri analiz edilmiştir.trinfo:eu-repo/semantics/openAccessİnce film üretimi, elektrokimyasal depolama, manyetik film türleri, kalıcı mıknatıslar.Thin film fabrication, electrodeposition, lithography, magnetic film types, permanent magnets.Makine Mühendisliği A.B.D.Master Thesis